無塵凈化車間可分為六個(gè)等級。分別為1級、10級、100級、1000級、10000級和100000級:
一級無塵車間主要用于制造一些集成電路的微電子行業(yè),而相對于集成電路的精確要求是亞微米。
10級潔凈室主要用于加工寬度小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。
很多人認(rèn)為100級無塵車間是最常用、最重要的,人們錯(cuò)誤地認(rèn)為100級潔凈室,是為了說明對無菌環(huán)境的要求較高。一般來說,100級潔凈室用于醫(yī)藥行業(yè)的無菌制造,主要用于手術(shù),就像它可以用于骨髓移植患者術(shù)后的隔離治療一樣。
1000級一般用于生產(chǎn)優(yōu)質(zhì)光學(xué)產(chǎn)品。
一萬級無塵車間主要用于裝配液壓設(shè)備或積壓設(shè)備。當(dāng)然,有時(shí)也用于食品飲料行業(yè),在醫(yī)療行業(yè)也很常見。
一萬級無塵車間,在許多工業(yè)部門都會(huì)使用,就像在制造光學(xué)產(chǎn)品時(shí),有時(shí)也用于制造較小的部件一樣。當(dāng)然,在食品和飲料的加工中,醫(yī)藥行業(yè)的生產(chǎn)也將使用這一級無塵車間。
我們所說的無塵車間是一種人工環(huán)境,其中所含的顆粒遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于一般環(huán)境,隨著集成電路技術(shù)的迅速發(fā)展,對制造環(huán)境(無塵車間)潔靜度的要求也越來越高,在工業(yè)上,即使顆粒尺寸小于1微米,也會(huì)阻礙產(chǎn)品的運(yùn)行或降低其使用壽命。由于奈米技術(shù)的興起,半導(dǎo)體的關(guān)鍵尺寸不斷縮小,集成電路的積累度不斷增加,灰塵顆粒更容易使芯片失效或可靠性惡化。舉例來說,當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線上時(shí),就會(huì)造成金屬導(dǎo)線短路。另外,酸性離子化合物的塵粒掉落在金屬導(dǎo)線上,有腐蝕的可能性,因此潔凈現(xiàn)場是集成電路制造不可或缺的要素。
越是排在前面,等級越高,1級是最高的,最常見的是百級到十萬級。潔凈室的使用要求:保持潔凈室的潔凈度,進(jìn)出人員有一定的穿著規(guī)定;10000級和100000級,必須穿長袍潔凈室、潔凈室、帽子和面罩;1000級以上(含),必須穿特殊潔凈室、潔凈室包裹全身,并帶手套和面罩。
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